氮化硅的下游应用

Si₃N₄ 是现代工业低调的使能者——藏身于发动机、芯片、新能源车、涡轮乃至人体关节之中。以下是我们的陶瓷服役之处。

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汽车与新能源汽车

氮化硅轻量且耐热的特性,使其成为旋转与高温部件的自然之选。

涡轮增压转子预热塞配气机构预燃室AMB 功率基板SiC 模块基板

在新能源车中,Si₃N₄ AMB 基板将 SiC IGBT 功率模块的热量导出,实现更快充电与更高功率密度。

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半导体与电子

洁净室需要几乎不掉屑且耐等离子体的材料,Si₃N₄ 是标准选择。

晶圆搬运臂基座(susceptor)聚焦环CVD / 刻蚀环 escort 臂静电吸盘部件

低热膨胀与高刚度,使关键尺寸历经数千次热循环仍保持稳定。

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轴承与旋转设备

Si₃N₄ 球用于混合陶瓷轴承,比全钢设计更轻、更快、更长寿。

机床主轴涡轮机械风电航天陀螺

电绝缘可防电弧损伤;耐腐蚀胜任食品、化工与真空工况。

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太阳能 / 光伏

晶圆与电池生产高温且洁净,Si₃N₄ 两者皆宜。

晶圆搬运涂覆辊CVD 硬件沉积桨叶

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冶金与铸造

熔融铝与热震会摧毁普通陶瓷,Si₃N₄ 却游刃有余。

除气转子轴升液 / 浇道管热电偶保护管喷嘴浇包部件

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医疗与牙科

生物相容、耐磨且对影像友好(射线可透)。

骨科球头牙科器械手术工具

更多应用

不止于此

切削刀具(铸铁与硬铣刀片)、航空航天结构件、油气耐磨件、科学仪器——凡是不允许失效之处,皆可能依赖 Si₃N₄。

不确定氮化硅是否适合你?

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